氮化硅粉末的制造方法及设备
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
一种氮化硅粉末的制造方法和设备，本发明的方法是用SiCl4和液氨在有机溶剂界面上发生反应生成硅亚胺，然后将其加热分解制得Si3N4粉末。通过反应器、喷淋洗涤器、旋液分离器、热分解结晶化回转炉等设备实现连续加料，连续出料达到连续生产Si3N4粉末的目的。本发明的方法所获得的产品高纯、超细Si3N4粉末中a-Si3N4＞96％，0＜1％，C＜10PPM，C1-＜10PPM，金属总杂质含量＜300PPM，粒度＜0.5μm，产率达97％。
基本信息
专利标题 ：
氮化硅粉末的制造方法及设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1040559A
申请号 ：
CN89106804.X
公开（公告）日 ：
1990-03-21
申请日 ：
1989-08-24
授权号 ：
CN1013659B
授权日 ：
1991-08-28
发明人 ：
张培志毕玉惠于政波
申请人 ：
国家建筑材料工业局山东工业陶瓷研究设计院
申请人地址 ：
山东省淄博张店山东工业陶瓷研究设计院
代理机构 ：
淄博市专利代理事务所
代理人 ：
付玉英
优先权 ：
CN89106804.X
主分类号 ：
C01B21/068
IPC分类号 ：
C01B21/068
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素；其化合物
C01B21/00
氮；其化合物
C01B21/06
氮与金属、硅或硼的二元化合物
C01B21/068
与硅
法律状态
1994-10-05 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1992-04-15 ：
授权
1991-08-28 ：
审定
1990-03-21 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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