光栅莫尔信号微机综合补偿细分法及装置
专利申请的视为撤回
摘要
本发明涉及一种用于位移测量的光栅莫尔信号微机综合补偿细分法及按此方法所组成的光栅位移测量装置。其主要特点在于按光栅莫尔信号实际表达式进行细分，可以消除表征莫尔信号质量的直流电平漂移、幅度波动、两路信号的等幅性和正交性误差对细分精度的影响，大幅度的提高细分精度和有效分辨率，降低对光栅副制造和装配调整精度的要求。为新一代高精度，高分辨率的光栅位移测量系统的实现提供了一个新的途径。
基本信息
专利标题 ：
光栅莫尔信号微机综合补偿细分法及装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1068417A
申请号 ：
CN91104628.3
公开（公告）日 ：
1993-01-27
申请日 ：
1991-07-09
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
车仁生于海波陈丽艳车承钧李学东杨文国
申请人 ：
哈尔滨工业大学
申请人地址 ：
150006黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街166号
代理机构 ：
哈尔滨工业大学专利事务所
代理人 ：
黄锦阳
优先权 ：
CN91104628.3
主分类号 ：
G01B11/02
IPC分类号 ：
G01B11/02 G06F7/38
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
1995-08-30 ：
专利申请的视为撤回
1993-03-10 ：
实质审查请求的生效
1993-01-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
