主动式激光位移传感器
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本发明是一种用于物体位移测量的主动式激光位移传感器，它由光源系统、偏光干涉系统、伺服调焦物镜、焦点检测器和光电接收系统五大部分所构成。由于本发明采用了非接触被测物体表面、偏光干涉、焦点扫描和伺服调焦技术，所以本发明具有应用范围广，不仅可以测量软硬材料物体的位移，还可以测量液体表面，无论是光滑或粗糙的表面均可测量。
基本信息
专利标题 ：
主动式激光位移传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1072773A
申请号 ：
CN91107536.4
公开（公告）日 ：
1993-06-02
申请日 ：
1991-11-22
授权号 ：
CN1026353C
授权日 ：
1994-10-26
发明人 ：
陈秋水陈仲裕
申请人 ：
中国科学院上海光学精密机械研究所
申请人地址 ：
201800上海市800-211信箱
代理机构 ：
中国科学院上海专利事务所
代理人 ：
李兰英
优先权 ：
CN91107536.4
主分类号 ：
G01B11/02
IPC分类号 ：
G01B11/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
1996-01-03 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1994-10-26 ：
授权
1993-06-02 ：
公开
1992-12-23 ：
实质审查请求已生效的专利申请
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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