碳化硅纤维高频热反应装置
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本发明涉及到一种利用气相沉积法制造碳化硅纤维的专用装置，本发明利用高频无接触式加热系统取代了传统的直流加热系统。装置中包括收、放丝机构，可导入反应气体的石英热反应器和高频加热系统三部分组成。高频加热系统中由射频发生器产生高能量射频电波，通过同轴传输电缆直联至同轴型反相激励式对称耦合腔，套装在石英热反应器上，在射频电流激励下，在耦合腔之间形成轴向匀强电磁场实现对载体丝加热，并完成反应气体分解并以sic形式沉积的过程。
基本信息
专利标题 ：
碳化硅纤维高频热反应装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1071398A
申请号 ：
CN91109267.6
公开（公告）日 ：
1993-04-28
申请日 ：
1991-10-05
授权号 ：
CN1033449C
授权日 ：
1996-12-04
发明人 ：
陈新谋王敬霞
申请人 ：
石家庄市电子加工技术研究所
申请人地址 ：
050091河北省石家庄市红旗大街81号
代理机构 ：
河北省专利事务所
代理人 ：
王苑祥
优先权 ：
CN91109267.6
主分类号 ：
C03B37/09
IPC分类号 ：
C03B37/09
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C03
玻璃；矿棉或渣棉
C03B
玻璃、矿物或渣棉的制造、成型；玻璃、矿物或渣棉的制造或成型的辅助工艺
C03B37/00
由软化的玻璃、矿物或渣制的絮片、纤维或细丝的制造或处理
C03B37/08
电熔白金坩埚；拉丝机头；漏嘴或漏板
C03B37/09
电加热的
法律状态
2001-11-28 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1996-12-04 ：
授权
1994-11-09 ：
实质审查请求的生效
1993-04-28 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
