增强聚酰亚胺对活性金属的粘合力的方法
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
摘要
为了改进聚酰亚胺膜对底层金属表面的粘合力，将能固化成硅倍半环氧乙烷共聚物的有机溶液涂到金属表面上。在同时固化过程中形成聚酰亚胺膜和硅倍半环氧乙烷共聚物膜。
基本信息
专利标题 ：
增强聚酰亚胺对活性金属的粘合力的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1060861A
申请号 ：
CN91109639.6
公开（公告）日 ：
1992-05-06
申请日 ：
1991-10-12
授权号 ：
CN1051169C
授权日 ：
2000-04-05
发明人 ：
哈罗德·乔治·林德罗斯玛利·安·普里威蒂-凯利
申请人 ：
国际商业机器公司
申请人地址 ：
美国纽约州
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 ：
董嘉扬
优先权 ：
CN91109639.6
主分类号 ：
H01L21/312
IPC分类号 ：
H01L21/312 H05K3/38
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/02
半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21/04
至少具有一个跃变势垒或表面势垒的器件，例如PN结、耗尽层、载体集结层
H01L21/18
器件有由周期表Ⅳ族元素或含有/不含有杂质的AⅢBⅤ族化合物构成的半导体，如掺杂材料
H01L21/30
用H01L21/20至H01L21/26各组不包含的方法或设备处理半导体材料的
H01L21/31
在半导体材料上形成绝缘层的，例如用于掩膜的或应用光刻技术的；以及这些层的后处理；这些层的材料的选择
H01L21/312
有机层，例如光刻胶
法律状态
2009-12-09 ：
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2002-06-12 ：
其他有关事项
2000-04-05 ：
授权
1992-05-06 ：
公开
1992-03-25 ：
实质审查请求已生效的专利申请
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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