具有高刚性模量支撑块的压力传感器
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
摘要
一层金属薄膜将隔板层的半导体粘合区与高刚性模量支撑块的陶瓷粘合区粘合在一起。该结构使压力检测隔板与不希望的应力隔开，提高了传感器精度。穿过支撑块的通路将液压传至检测隔板，使其偏移。支撑块上的隔板和电容器极板间的容性耦合对偏移量作出反应，并输出一个代表压力的输出信号。
基本信息
专利标题 ：
具有高刚性模量支撑块的压力传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1066922A
申请号 ：
CN92102145.3
公开（公告）日 ：
1992-12-09
申请日 ：
1992-03-28
授权号 ：
CN1045660C
授权日 ：
1999-10-13
发明人 ：
大卫·Ａ·布鲁登布莱恩·Ｊ·比绍夫伯奈特·Ｌ·鲁维杰
申请人 ：
罗斯蒙德公司
申请人地址 ：
美国明尼苏达州
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 ：
范本国
优先权 ：
CN92102145.3
主分类号 ：
G01L7/08
IPC分类号 ：
G01L7/08 G01L9/12
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L7/00
用机械的或流体的压敏元件测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力
G01L7/02
弹性形变量计式的
G01L7/08
可挠膜片式的
法律状态
2009-05-27 ：
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2002-06-12 ：
其他有关事项
1999-10-13 ：
授权
1994-07-13 ：
实质审查请求的生效
1992-12-09 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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