硫化锌薄膜的真空补硫法
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
硫化锌薄膜的真空补硫法是一种用于电致发光薄膜的补硫方法，将采用双元蒸发或溅射法沉积ZnS∶Mn薄膜的基片与适量的固体硫分别装在不同的容器内，并一起密封在真空室内，真空室的压强低于1帕，再对真空室进行加热，其温度为450～600℃，保温时间为1～4小时，固体硫升华为硫蒸气再扩散到薄膜中。本发明具有设备简单、操作方便等优点。
基本信息
专利标题 ：
硫化锌薄膜的真空补硫法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1084902A
申请号 ：
CN92107771.8
公开（公告）日 ：
1994-04-06
申请日 ：
1992-09-26
授权号 ：
CN1031418C
授权日 ：
1996-03-27
发明人 ：
陈国平黄蕙芬
申请人 ：
东南大学
申请人地址 ：
210018江苏省南京市四牌楼2号
代理机构 ：
东南大学专利事务所
代理人 ：
楼高潮
优先权 ：
CN92107771.8
主分类号 ：
C23C14/06
IPC分类号 ：
C23C14/06 C23C14/58 C23C14/24 H05B33/10 H05B33/14
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/06
以镀层材料为特征的
法律状态
1997-11-12 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1996-03-27 ：
授权
1994-08-17 ：
实质审查请求的生效
1994-04-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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