真空室

授权

摘要

本实用新型公开一种真空室，包括防护挡板和真空泵，防护挡板包括挡板本体和至少两个接头组件，挡板本体由紧固件固定在真空室内部，真空泵位于挡板本体的正下方，挡板本体内部开设有供冷却介质流通的流道，接头组件设置在挡板本体的一侧并与流道连通，接头组件贯穿真空室的外壁。挡板本体内部开设有供冷却介质流通的流道，在环境温度较高时，挡板本体仍能保持自身结构形态的稳定，不易因温度升高而发生膨胀，挡板本体的固定结构不会因挡板本体的膨胀发生损坏。由于挡板本体在环境温度发生较大变化时仍能保持自身形态的稳定，能始终被良好地固定在真空室内，挡板本体下方的真空泵得到了较好的保护，本实用新型的真空室因而具有较高的可靠性。

基本信息

专利标题：

真空室

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022494745.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-10-30

授权号：

CN213184201U

授权日：

2021-05-11

发明人：

梁一韩

申请人：

乐金显示光电科技（中国）有限公司

申请人地址：

广东省广州市广州高新技术产业开发区科学城开泰大道59号

代理机构：

北京品源专利代理有限公司

代理人：

胡彬

优先权：

CN202022494745.1

主分类号：

H01J37/32

IPC分类号：

H01J37/32