用于非常大面积基片的真空处理室
专利权的终止
摘要
根据本发明的大尺寸基片PECV0处理的等离子体反应器，包括作为外室的真空处理室和带有电极喷头作为RF天线的至少一个内部反应器，所述内部反应器还包括反应器底部和反应器顶部，由此加强件支撑反应器顶部和/或反应器底部，加强件经由补偿隔件(4)连接到反应器顶部(2)和/或反应器底部(6)，补偿隔件(4)的厚度选择为补偿在运行期间的热膨胀。
基本信息
专利标题 ：
用于非常大面积基片的真空处理室
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101728206A
申请号 ：
CN200910208880.0
公开（公告）日 ：
2010-06-09
申请日 ：
2005-11-23
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
P·埃恩格L·德劳内伊S·约斯特M·埃亚考比
申请人 ：
OC欧瑞康巴尔斯公司
申请人地址 ：
列支敦士登巴尔策斯
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
陈江雄
优先权 ：
CN200910208880.0
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 C23C16/44 C23C16/509 C23C16/54
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2018-11-09 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : H01J 37/32
申请日 : 20051123
授权公告日 : 20111123
终止日期 : 20171123
申请日 : 20051123
授权公告日 : 20111123
终止日期 : 20171123
2013-12-11 ：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101678879550
IPC(主分类) : H01J 37/32
专利号 : ZL2009102088800
变更事项 : 专利权人
变更前 : 欧瑞康太阳能股份公司(特吕巴赫)
变更后 : 东电电子太阳能股份公司
变更事项 : 地址
变更前 : 瑞士特吕巴赫
变更后 : 瑞士特吕巴赫
号牌文件序号 : 101678879550
IPC(主分类) : H01J 37/32
专利号 : ZL2009102088800
变更事项 : 专利权人
变更前 : 欧瑞康太阳能股份公司(特吕巴赫)
变更后 : 东电电子太阳能股份公司
变更事项 : 地址
变更前 : 瑞士特吕巴赫
变更后 : 瑞士特吕巴赫
2011-11-23 ：
授权
2011-05-18 ：
专利申请权、专利权的转移
专利申请权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101091479925
IPC(主分类) : H01J 37/32
专利申请号 : 2009102088800
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : OC欧瑞康巴尔斯公司
变更后权利人 : 欧瑞康太阳能股份公司(特吕巴赫)
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 列支敦士登巴尔策斯
变更后权利人 : 瑞士特吕巴赫
登记生效日 : 20110411
号牌文件序号 : 101091479925
IPC(主分类) : H01J 37/32
专利申请号 : 2009102088800
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : OC欧瑞康巴尔斯公司
变更后权利人 : 欧瑞康太阳能股份公司(特吕巴赫)
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 列支敦士登巴尔策斯
变更后权利人 : 瑞士特吕巴赫
登记生效日 : 20110411
2010-08-11 ：
实质审查的生效
号牌文件类型代码 : 1604
号牌文件序号 : 101004502161
IPC(主分类) : H01J 37/32
专利申请号 : 2009102088800
申请日 : 20051123
号牌文件序号 : 101004502161
IPC(主分类) : H01J 37/32
专利申请号 : 2009102088800
申请日 : 20051123
2010-06-09 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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2、
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