本实用新型公开了一种用于真空镀膜气相沉积过程基片装夹的基片架，是在真空室壁有开孔，真空室外的开孔沿上安装有真空室接口法兰，波纹管上端连接在波纹管连接法兰外壁，波纹管连接法兰内套装有磁流体密封传动外轴，磁流体密封传动外轴端部连接有主动齿轮；磁流体密封传动外轴内有磁流体密封传动内轴，磁流体密封传动内轴端部连接有从动齿轮；波纹管连接法兰下端连接有悬架，悬架下方安装有加热/冷却机构，磁流体密封传动外轴下方连接有基片自转齿轮，磁流体密封传动内轴下方安装有基片支撑板；同时实现基片的转动、相对于沉积源的移动、基片的加热/冷却以及基片表面工艺气体的定位输送。