用于非常大面积基片的真空处理室
专利权的终止
摘要

根据本发明的大尺寸基片PECVO处理的等离子体反应器,包括作为外室的真空处理室和带有电极喷头作为RF天线的至少一个内部反应器,所述内部反应器还包括反应器底部和反应器顶部,至少在等离子体反应器内基片处理期间密封式地连接,并至少在基片装载/卸载期间分开。进一步的实施例包括用于反应器顶部/底部的密封和用于RF天线/电极喷头的悬挂件。

基本信息
专利标题 :
用于非常大面积基片的真空处理室
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN101065824A
申请号 :
CN200580039880.2
公开(公告)日 :
2007-10-31
申请日 :
2005-11-23
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
P·埃恩格L·德劳内伊S·约斯特M·埃亚考比
申请人 :
OC欧瑞康巴尔斯公司
申请人地址 :
列支敦士登巴尔策斯
代理机构 :
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 :
丁建春
优先权 :
CN200580039880.2
主分类号 :
H01J37/32
IPC分类号 :
H01J37/32  C23C16/509  C23C16/458  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管,例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2018-11-09 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : H01J 37/32
申请日 : 20051123
授权公告日 : 20091223
终止日期 : 20171123
2013-12-11 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101678864552
IPC(主分类) : H01J 37/32
专利号 : ZL2005800398802
变更事项 : 专利权人
变更前 : 欧瑞康太阳能股份公司(特吕巴赫)
变更后 : 东电电子太阳能股份公司
变更事项 : 地址
变更前 : 瑞士特吕巴赫
变更后 : 瑞士特吕巴赫
2011-04-27 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101083483949
IPC(主分类) : H01J 37/32
专利号 : ZL2005800398802
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 欧瑞康太阳IP股份公司(特吕巴赫)
变更后权利人 : 欧瑞康太阳能股份公司(特吕巴赫)
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 瑞士特吕巴赫
变更后权利人 : 瑞士特吕巴赫
登记生效日 : 20110322
2010-01-06 :
专利申请权、专利权的转移(专利权的转移)
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : OC欧瑞康巴尔斯公司
变更后权利人 : 欧瑞康太阳IP股份公司(特吕巴赫)
变更事项 : 地址
变更前 : 列支敦士登巴尔策斯
变更后 : 瑞士特吕巴赫
登记生效日 : 20091204
2009-12-23 :
授权
2007-12-26 :
实质审查的生效
2007-10-31 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332