管式纳米级超细微粒制备方法
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要

本发明公开了一种管式纳米级超细微粒制备方法,它首先,将刚玉管式高温反应炉加热,使反应室温度升至1200~1400℃,并恒温0.5~1小时,同时,开启真空抽气系统,将反应室抽至10-3~10-5乇;接着,打开SiH4和C2H4钢瓶,通过质量流程计调节至C2H4/SiH4摩尔比为0.5~2,总的气体流量为200~600ml/分钟,并控制反应压力为0.1~1大气压;然后,通入的原料SiH4和C2H4在反应炉内发生化学反应,生成SiC超细微粒,被急冷抽至粉末收集装置中。所说的原料为NH3、CH3SiCl3、SiCl4等。本发明的优点是:设备简单,操作方便,产率高,易在工业上推广应用。

基本信息
专利标题 :
管式纳米级超细微粒制备方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1080222A
申请号 :
CN92109291.1
公开(公告)日 :
1994-01-05
申请日 :
1992-08-07
授权号 :
CN1032679C
授权日 :
1996-09-04
发明人 :
许宇庆丁子上
申请人 :
浙江大学
申请人地址 :
310027浙江省杭州市玉泉
代理机构 :
浙江大学专利代理事务所
代理人 :
张法高
优先权 :
CN92109291.1
主分类号 :
B22F9/12
IPC分类号 :
B22F9/12  B22F9/28  C01B31/36  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B22
铸造;粉末冶金
B22F
金属粉末的加工;由金属粉末制造制品;金属粉末的制造,金属粉末的专用装置或设备
B22F9/00
制造金属粉末或其悬浮物;所用的专用装置或设备
B22F9/02
用物理方法
B22F9/12
从气体材料开始
法律状态
1998-09-30 :
专利权的终止未缴年费专利权终止
1996-09-04 :
授权
1994-01-05 :
公开
1993-03-24 :
实质审查请求的生效
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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