对于表面进行光学扫描用的装置
专利申请的视为撤回
摘要

本发明所述的装置用于以物镜(10)形成的焦点(11)对表面(2)进行光学扫描。该物镜以电磁方式悬置在静止不动的线圈系统(14)中,此线圈系统可驱使物镜以五个自由度运动。光束(21)经过转镜(22)和扫描透镜(23)之后被整形为准直光束(24),此准直光束靠转镜的转动可平行其自身移动,以便跟踪物镜的运动。

基本信息
专利标题 :
对于表面进行光学扫描用的装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1080419A
申请号 :
CN93106985.8
公开(公告)日 :
1994-01-05
申请日 :
1993-06-16
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
G·E·范洛斯马伦
申请人 :
菲利浦电子有限公司
申请人地址 :
荷兰艾恩德霍芬
代理机构 :
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 :
王岳
优先权 :
CN93106985.8
主分类号 :
G06K7/10
IPC分类号 :
G06K7/10  G02B26/10  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G06
计算;推算或计数
G06K
数据识别;数据表示;记录载体;记录载体的处理
G06K7/00
读出记录载体的方法或装置
G06K7/10
采用电磁辐射的,例如,光学读出;应用微粒子辐射
法律状态
1999-10-06 :
专利申请的视为撤回
1995-11-15 :
实质审查请求的生效
1994-01-05 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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