一种检测半导体器件的方法，包括在一段时间给半导体器件通以预定电平的电流脉冲之步骤，以使有缺陷器件老化，使无缺陷器件稳定，及在加电流脉冲后，测量半导体器件的预定电或光工作特性之步骤。一种检测片子上半导体器件的系统，具有接触探头，用于把电流脉冲施加到片子上的半导体器件上，与探头电连接的测量装置，用于测量片子上半导体器件的预定电或光工作特性，以及与测量装置电连接的光探测装置，用于探测由片子上半导体器件发出的辐射。