高过压低量程压力传感器
专利权的终止
摘要

一种压力传感器,包括一块底板和由脆性材料制成的膜片板,所述膜片板沿着周边密封在底板上。有膜片对着底板的一侧上形成有许多与底板成一整体的支撑柱,从而当膜片在高的过压作用下向底板挠曲时这些柱将支撑膜片阻止其移动以避免膜片的损坏或破裂。在本发明的一个最佳实施例中,底板上有一薄层二氧化硅,它是很好的电绝缘体并且还可使这些柱与底板的表面接触时产生适宜的轻微的移动,从而当过压增加时减小在膜片上产生的应力。

基本信息
专利标题 :
高过压低量程压力传感器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1092164A
申请号 :
CN93118813.X
公开(公告)日 :
1994-09-14
申请日 :
1993-08-31
授权号 :
CN1051155C
授权日 :
2000-04-05
发明人 :
马克·A·鲁茨威廉·B·克鲁格
申请人 :
罗斯蒙德公司
申请人地址 :
美国明尼苏达州
代理机构 :
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 :
王以平
优先权 :
CN93118813.X
主分类号 :
G01L7/08
IPC分类号 :
G01L7/08  G01L19/06  
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L7/00
用机械的或流体的压敏元件测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力
G01L7/02
弹性形变量计式的
G01L7/08
可挠膜片式的
法律状态
2013-11-06 :
专利权的终止
专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101536331850
IPC(主分类) : G01L 7/08
专利号 : ZL93118813X
申请日 : 19930831
授权公告日 : 20000405
期满终止日期 : 20130831
2000-04-05 :
授权
1996-01-10 :
实质审查请求的生效
1994-09-14 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN1092164A.PDF
PDF下载
2、
CN1051155C.PDF
PDF下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332