化学气相沉积金刚石涂层硬质合金工具的新工艺
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本发明提供了一种简便而有效的化学气相沉积金刚石膜涂层硬质合金工具的制备方法。即在进行化学气相沉积之前，先用高能激光束（准分子激光，或二氧化碳激光，或ＹＡＧ激光）处理硬质合金工具衬底表面，以增强金刚石膜与衬底之间的结合力，提高金刚石膜涂层工具的使用性能。可以采用任何现有的金刚石膜低压化学气相沉积工艺获得具有很好结合力的金刚石涂层。采用特殊的掩膜工艺，还可以实现金刚石膜只在工具尖角和刃口及附近区域的沉积。
基本信息
专利标题 ：
化学气相沉积金刚石涂层硬质合金工具的新工艺
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1102219A
申请号 ：
CN93119434.2
公开（公告）日 ：
1995-05-03
申请日 ：
1993-10-28
授权号 ：
CN1037862C
授权日 ：
1998-03-25
发明人 ：
吕反修
申请人 ：
北京科技大学
申请人地址 ：
100083北京市海淀区学院路30号
代理机构 ：
北京科技大学专利代理事务所
代理人 ：
刘月娥
优先权 ：
CN93119434.2
主分类号 ：
C23C16/26
IPC分类号 ：
C23C16/26 C23C16/02
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/22
以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C16/26
仅沉积碳
法律状态
2000-12-20 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1998-03-25 ：
授权
1995-09-20 ：
实质审查请求的生效
1995-05-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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