一种沉积金刚石涂层的装置
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摘要

本实用新型公开了一种沉积金刚石涂层的装置,包括底板和固定框,所述底板的顶部外壁固定连接有鼓风机,且固定框的内壁固定连接有气板,所述鼓风机的鼓风端通过管道连接于气板的内壁,且气板的顶部外壁等距离开有气孔,所述底板靠近鼓风机的顶部外壁固定连接有空气滤网,且鼓风机的进风端固定连接有进风管,进风管与空气滤网相接触,所述底板的顶部外壁固定连接有四个支撑柱,且四个支撑柱均固定连接于固定框的底部外壁。本实用新型通过设置有鼓风机和气板,进行金刚石涂层沉积操作时,对材料进行翻转后,启动鼓风机,鼓风机通过气板上的气孔对位于材料下方的金刚石涂层进行支撑,防止其从材料上脱落,提高金刚涂层沉积效果。

基本信息
专利标题 :
一种沉积金刚石涂层的装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021859657.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-31
授权号 :
CN212894966U
授权日 :
2021-04-06
发明人 :
于朋彬张士宪赵晓萍
申请人 :
山东坤伦纳米科技有限公司
申请人地址 :
山东省日照市东港区后村镇振兴路中心幼儿园东20米
代理机构 :
山东智达联合专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
代春梅
优先权 :
CN202021859657.0
主分类号 :
C23C16/458
IPC分类号 :
C23C16/458  C23C16/46  C23C16/27  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/458
在反应室中支承基体的方法
法律状态
2021-04-06 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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