本发明涉及非水系洗净组合物在洗净工业用部件的对象物中作为洗净剂或作为脱水洗净剂的应用，它含有选自直链聚二有机硅氧烷和环状聚二有机硅氧烷中至少一种低分子量聚有机硅氧烷，还可配合表面活性剂和／或亲水性溶剂；用它可洗净金属、玻璃和陶瓷类的部件，以及表面处理、半导体、电子、精密机械、光学等有关部件。本发明洗净剂的洗净能力可与氟类传统洗净剂比美，而且不会破坏或污染环境，稳定性好。