一种多束动态混合注入方法及其装置
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
用于表面改性领域的一种多束动态混合注入方法及其装置，特征是用载能离子、电子、原子和等离子体等多种束线，各束线在高真空下采用大束斑、单独调控、同时注入沉积，对工件实施表面清洗、基底强化、建立膜—基动态混合注入过渡层和化学配比动态混合表面层的活化状态化学配比的动态混合注入工艺方法。实施中，确保各条束线按给定角度，同时会聚于工件表面。优点，成膜快、结合力强、质量高，用于表面陶瓷化、合金化、多功能梯度膜和集层膜。
基本信息
专利标题 ：
一种多束动态混合注入方法及其装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1109513A
申请号 ：
CN94110150.9
公开（公告）日 ：
1995-10-04
申请日 ：
1994-03-28
授权号 ：
CN1060225C
授权日 ：
2001-01-03
发明人 ：
龙振湖尤竹平任春生阎堃郭宝海
申请人 ：
大连理工大学
申请人地址 ：
116024辽宁省大连市凌水河
代理机构 ：
大连理工大学专利事务所
代理人 ：
修德金
优先权 ：
CN94110150.9
主分类号 ：
C23C14/48
IPC分类号 ：
C23C14/48
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/48
离子注入
法律状态
2004-05-26 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
2001-01-03 ：
授权
1995-10-04 ：
公开
1995-03-22 ：
实质审查请求的生效
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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