线条倾斜测量误差自动补偿方法
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本发明是一种线条倾斜测量误差自动补偿方法。主要适用于大规模集成电路的线宽以及微电子机械元件尺寸的测量。利用由显微成象系统、图象采集系统、计算机和监视器构成的装置，通过最小二乘法曲线拟合或者二点法的方法，求其线条与测量方向的倾斜角实现对测量误差自动补偿。采用本发明的方法可以减小系统测量误差，提高系统测量精度，操作程序简单，使用方便。
基本信息
专利标题 ：
线条倾斜测量误差自动补偿方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1097866A
申请号 ：
CN94112044.9
公开（公告）日 ：
1995-01-25
申请日 ：
1994-02-05
授权号 ：
CN1047438C
授权日 ：
1999-12-15
发明人 ：
沈蓓军邹海兴丁生华路敦武
申请人 ：
中国科学院上海光学精密机械研究所
申请人地址 ：
201800上海市800－211邮政信箱
代理机构 ：
上海华东专利事务所
代理人 ：
李兰英
优先权 ：
CN94112044.9
主分类号 ：
G01B11/26
IPC分类号 ：
G01B11/26 G06K9/46
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/26
•用于计量角度或锥度；用于检测轴线准直
法律状态
2002-04-03 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1999-12-15 ：
授权
1995-01-25 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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