环境控制系统
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
一种环境控制系统(10)，包括与制造或加工半导体或其它产品的气氛调节设备(18)相连的组合式隔离室(14)。工件以及加工或其它机械(28)与房间里放置的其它物品隔离，房间中有许多部分不需要净化。使用可移动的组合室也可增强对微粒污染物的控制并且可对一个房间内的不同加工环境单独进行调节。其它种类的室适于给工件提供混合的垂直层流(VLF)和水平层流(HLF)。
基本信息
专利标题 ：
环境控制系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1119040A
申请号 ：
CN94191417.8
公开（公告）日 ：
1996-03-20
申请日 ：
1994-01-26
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
R·M·詹科G·A·马维尔D·米勒G·K·蒙特
申请人 ：
聪明附件公司
申请人地址 ：
美国乔治亚州
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
肖春京
优先权 ：
CN94191417.8
主分类号 ：
F24F3/16
IPC分类号 ：
F24F3/16
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F24
供热；炉灶；通风
F24F
空气调节；空气增湿；通风；空气流作为屏蔽的应用
F24F
空气调节；空气增湿；通风；空气流作为屏蔽的应用
F24F3/00
从一个或多个集中式空调站向可以得到二次处理的房间或场所内的分配装置供给经过处理的一次空气的空气调节系统；专门为这种系统设计的设备
F24F3/12
以加热和冷却除外的其他方式处理空气为特征的
F24F3/16
净化处理，例如过滤处理；消毒处理；臭氧化处理
法律状态
2002-03-20 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
1997-01-01 ：
实质审查请求的生效
1996-03-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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