过程控制的方法和设备
专利申请的视为撤回
摘要
为了检查光学母盘上的光敏剂层被显像液显像的过程，使一透明体与显像液(14)相接触。然后，将来自光源的光束入射到光学母盘上，并且使衍射光束经过显像液和透明体射到探测器上。这样，衍射光束的光径是稳定的。最好是通过反射从入射光束中获得衍射光束，并且该衍射光束最好是第一阶衍射光束。入射光束还最好是经过调制的。然后，靠监控探测器(9)所探测到的衍射光束(8)的变化，来监控光敏剂层的显像过程。
基本信息
专利标题 ：
过程控制的方法和设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1120866A
申请号 ：
CN94191725.8
公开（公告）日 ：
1996-04-17
申请日 ：
1994-04-05
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
杰拉尔德·A·J·雷诺兹乔纳森·哈利德
申请人 ：
光轮通讯国际有限公司
申请人地址 ：
英国格温特
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 ：
郑中军
优先权 ：
CN94191725.8
主分类号 ：
G03F7/30
IPC分类号 ：
G03F7/30 G11B7/26 G01N21/89
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
G03F7/30
用液体消除影像的
法律状态
1999-08-11 ：
专利申请的视为撤回
1996-06-26 ：
实质审查请求的生效
1996-04-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
