等离子放电装置及其应用方法

发明专利申请公布后的视为撤回

摘要

一种等离子放电装置及其应用方法。该等离子放电装置至少包含外电极、绝缘层以及内电极。外电极至少包括：一第一部分具有一第一腔室，且第一腔室具有第一孔径，其中第一腔室具有一底板，且底板设有一开口；以及一第二部分连接到第一部分下，且具有第二腔室贯穿第二部分，第二腔室具有第二孔径，其中第二腔室与底板的开口连接，且第一孔径大于第二孔径。绝缘层位于第一腔室的内壁上。内电极设于外电极内的第一腔室的前端，并相对于底板的开口。

基本信息

专利标题：

等离子放电装置及其应用方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1993010A

申请号：

CN200510003377.3

公开（公告）日：

2007-07-04

申请日：

2005-12-31

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

洪昭南梁国超徐逸明陈俊钦王亮钧王俊尧陈彦政李志勇

申请人：

馗鼎奈米科技股份有限公司

申请人地址：

台湾省台南县永康市亚太工业区中正路279巷21弄59号

代理机构：

上海新高专利商标代理有限公司

代理人：

楼仙英

优先权：

CN200510003377.3

主分类号：

H05H1/26

IPC分类号：

H05H1/26 H05H1/28 G12B15/02