一种等离子放电设备

授权

摘要

本实用新型公开的属于等离子加工技术领域的一种等离子放电设备，包括设备箱、电极板、真空泵、抽气泵和气体回收装置，设备箱的内顶壁和内底壁均螺接有电极板，设备箱的内后壁螺接有导轨，导轨的导槽与工件安装架滑动连接，设备箱的顶部贯穿开有注气口，注气口的顶端与第一气密阀固定连接，第一气密阀的另一端与输气管道固定连接，设备箱的顶部贯穿开有真空抽气口，真空抽气口的顶端与真空泵的进气口固定连接，设备箱的底壁开有排气口，排气口的底端与第二气密阀固定连接，第二气密阀的另一端与抽气泵的进气口固定连接，抽气泵的出气口与气体回收装置的进气口固定连接，本实用新型能够将未充分电离的工作气体进行回收，提高工作气体的使用效率。

基本信息

专利标题：

一种等离子放电设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921208888.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-07-29

授权号：

CN209929257U

授权日：

2020-01-10

发明人：

张文远徐浩军刘雄魏小龙韩欣珉宋志杰

申请人：

中国人民解放军空军工程大学

申请人地址：

陕西省西安市灞桥区霸陵路1号

代理机构：

西安铭泽知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

崔瑞迎

优先权：

CN201921208888.2

主分类号：

H01J37/32

IPC分类号：

H01J37/32