一种等离子放电设备
授权
摘要
本实用新型公开的属于等离子加工技术领域的一种等离子放电设备,包括设备箱、电极板、真空泵、抽气泵和气体回收装置,设备箱的内顶壁和内底壁均螺接有电极板,设备箱的内后壁螺接有导轨,导轨的导槽与工件安装架滑动连接,设备箱的顶部贯穿开有注气口,注气口的顶端与第一气密阀固定连接,第一气密阀的另一端与输气管道固定连接,设备箱的顶部贯穿开有真空抽气口,真空抽气口的顶端与真空泵的进气口固定连接,设备箱的底壁开有排气口,排气口的底端与第二气密阀固定连接,第二气密阀的另一端与抽气泵的进气口固定连接,抽气泵的出气口与气体回收装置的进气口固定连接,本实用新型能够将未充分电离的工作气体进行回收,提高工作气体的使用效率。
基本信息
专利标题 :
一种等离子放电设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921208888.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-07-29
授权号 :
CN209929257U
授权日 :
2020-01-10
发明人 :
张文远徐浩军刘雄魏小龙韩欣珉宋志杰
申请人 :
中国人民解放军空军工程大学
申请人地址 :
陕西省西安市灞桥区霸陵路1号
代理机构 :
西安铭泽知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
崔瑞迎
优先权 :
CN201921208888.2
主分类号 :
H01J37/32
IPC分类号 :
H01J37/32
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管,例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2020-01-10 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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