具有较高灵敏度和带宽的差分式微机械陀螺
专利权的终止
摘要
本发明提供了具有较高灵敏度和带宽的差分式微机械陀螺，它以硅作为衬底材料，采用多晶硅或单晶硅材料形成微结构；其特点包括驱动电极、驱动检测电极、检测电极、带驱动梳齿的驱动框架、用于连接驱动框架的柔性杆、驱动框架内带检测梳齿的检测框架、将检测框架与驱动框架相连的柔性杆等；整个结构由柔性杆支撑并悬浮于衬底上方；并采用了直流自动增益控制闭环驱动电路。具有较高灵敏度和带宽，结构紧凑，稳定性好，使用寿命较长等优点。
基本信息
专利标题 ：
具有较高灵敏度和带宽的差分式微机械陀螺
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1766528A
申请号 ：
CN200510012983.1
公开（公告）日 ：
2006-05-03
申请日 ：
2005-11-11
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李锦明张文栋李林熊继军刘俊秦丽马游春
申请人 ：
中北大学
申请人地址 ：
030051山西省太原市中北大学电子科学与技术系
代理机构 ：
山西五维专利事务所有限公司
代理人 ：
李印贵
优先权 ：
CN200510012983.1
主分类号 ：
G01C19/56
IPC分类号 ：
G01C19/56 G01P9/04
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01C
测量距离、水准或者方位；勘测；导航；陀螺仪；摄影测量学或视频测量学
G01C19/00
陀螺仪；使用振动部件的转动敏感装置；不带有运动部件的转动敏感装置；使用陀螺效应测量角速率
G01C19/56
使用振动部件的转动敏感装置，例如基于科里奥利力的振动角速度传感器
法律状态
2012-01-11 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101169509782
IPC(主分类) : G01C 19/56
专利号 : ZL2005100129831
申请日 : 20051111
授权公告日 : 20100915
终止日期 : 20101111
号牌文件序号 : 101169509782
IPC(主分类) : G01C 19/56
专利号 : ZL2005100129831
申请日 : 20051111
授权公告日 : 20100915
终止日期 : 20101111
2010-09-15 ：
授权
2006-06-28 ：
实质审查的生效
2006-05-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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