高灵敏度微压检测倒置台形空腔结构电容式微机械超声换能器
授权
摘要
本发明涉及微压（0‑10kPa）检测领域，尤其涉及MEMS或电容式微机械超声换能器，具体为高灵敏度微压检测倒置台形空腔结构电容式微机械超声换能器，包括金属上电极、Si振膜、SiO2支撑柱、真空腔、SiO2绝缘层以及硅衬底，Si振膜的下方边缘位置设置有环形的SiO2支撑柱，SiO2支撑柱的下方设置硅衬底，Si振膜、SiO2支撑柱和硅衬底所围成的真空腔为倒置的圆台形真空腔，真空腔底部设置有SiO2绝缘层，Si振膜上方溅射金属上电极。本发明的电容式微机械超声换能器具有高灵敏度、优线性度的压力检测性能。
基本信息
专利标题 ：
高灵敏度微压检测倒置台形空腔结构电容式微机械超声换能器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113714071A
申请号 ：
CN202110911455.9
公开（公告）日 ：
2021-11-30
申请日 ：
2021-08-10
授权号 ：
CN113714071B
授权日 ：
2022-05-24
发明人 ：
王红亮丁琦何常德张文栋黄霄王任鑫王智豪
申请人 ：
中北大学
申请人地址 ：
山西省太原市尖草坪区学院路3号
代理机构 ：
太原科卫专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
朱源
优先权 ：
CN202110911455.9
主分类号 ：
B06B1/02
IPC分类号 ：
B06B1/02
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B06
一般机械振动的发生或传递
B06B
一般的机械振动的发生或传递（其特殊物理或机械方法见有关小类，如B07B1/40，B22C19/06，B23Q17/12，B24B31/06，E01C19/22；机械振动的测量，包括发生与测量的结合入G01H；利用声波反射或再辐射的系统入G01S15/00；勘探用地震能的产生入G01V1/02；机械振动的控制入G05D19/00；声音发送、传导或定向的一般方法或装置入G10K11/00；声波的合成入G10K15/02；压电器件、电致伸缩器件或磁致伸缩器件入H01L41/00；有振动磁体、电枢或线圈的电动机入
B06B1/00
产生亚声频、声频或超声频的机械振动的过程或设备
B06B1/02
利用电能
法律状态
2022-05-24 ：
授权
2021-12-17 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B06B 1/02
申请日 : 20210810
申请日 : 20210810
2021-11-30 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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