空腔型倒置声波器件及其制备方法
公开
摘要
本发明公开了一种空腔型倒置声波器件及其制备方法。所述空腔型倒置声波器件包括支撑基底、电极和压电薄膜。所述支撑基底表面设置有一个以上凹槽，所述电极设置于所述凹槽内，所述压电薄膜设置在支撑衬底表面并覆盖所述凹槽，所述电极与压电薄膜电性结合。本发明的空腔型倒置声波器件兼具声表面波和体声波的优势，性能优异，且器件表面平整，在保证器件基本性能的同时，便于实现不同种类的性能调控，应用范围广，同时其制备难度和成本低，良率高，易于规模化生产及推广应用。
基本信息
专利标题 ：
空腔型倒置声波器件及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114301413A
申请号 ：
CN202111647253.4
公开（公告）日 ：
2022-04-08
申请日 ：
2021-12-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
潘峰
申请人 ：
苏州达波新材科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城东北区38幢3-6室
代理机构 ：
南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
王锋
优先权 ：
CN202111647253.4
主分类号 ：
H03H9/02
IPC分类号 ：
H03H9/02 H03H3/02
法律状态
2022-04-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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