表面声波器件
专利权的终止
摘要
本发明涉及一种表面声波器件，其包括：一类金刚石碳膜，其具有纳米级厚度；一位于该类金刚石碳膜上的锌氧化物层，其具有纳米级厚度；及至少一位于该锌氧化物层上的指叉换能器。该类金刚石碳膜的厚度Z(f)满足条件式：Z(f)＝M×Z0/(f/f0)，Z(f)≥1nm；其中，Z0为表面声波器件的工作频率为f0时的类金刚石碳膜的厚度，f为表面声波器件的工作频率，其取值范围为20～1000GHz，M的取值范围为1～15。该锌氧化物层的厚度Y(f)满足条件式：Y(f)＝N×Y0/(f/f0)；其中，Y0为表面声波器件的工作频率为f0时的锌氧化物层的厚度，N的取值范围为1～1.5。本发明利用纳米级厚度的锌氧化物的压电效应及类金刚石碳膜的高表面声波传播速率的特性，可使该表面声波器件的工作频率高达1000GHz。
基本信息
专利标题 ：
表面声波器件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1953324A
申请号 ：
CN200510100556.9
公开（公告）日 ：
2007-04-25
申请日 ：
2005-10-19
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
陈杰良
申请人 ：
鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请人地址 ：
518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN200510100556.9
主分类号 ：
H03H9/25
IPC分类号 ：
H03H9/25
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法律状态
2017-12-08 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : H03H 9/25
申请日 : 20051019
授权公告日 : 20090819
终止日期 : 20161019
申请日 : 20051019
授权公告日 : 20090819
终止日期 : 20161019
2009-08-19 ：
授权
2007-12-19 ：
实质审查的生效
2007-04-25 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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