用于表面声波器件的混合结构体
授权
摘要
本发明涉及一种用于表面声波器件的混合结构体(10)，其包括与载体衬底(5)连接的压电材料的有用层(1)，所述载体衬底(5)的热膨胀系数低于所述有用层(1)的热膨胀系数；所述混合结构体(10)包括位于所述有用层(1)和所述载体衬底(5)之间的中间层(4)，所述中间层(4)是在所述中间层(4)的平面内具有多个周期性图案(6,7)的由至少两种不同材料形成的结构化层。
基本信息
专利标题 ：
用于表面声波器件的混合结构体
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN108496257A
申请号 ：
CN201780006874.X
公开（公告）日 ：
2018-09-04
申请日 ：
2017-01-17
授权号 ：
CN108496257B
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
O·科农丘克E·布陶德E·德斯邦内特斯
申请人 ：
索泰克公司
申请人地址 ：
法国伯尔宁
代理机构 ：
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 ：
庞东成
优先权 ：
CN201780006874.X
主分类号 ：
H01L41/08
IPC分类号 ：
H01L41/08 H03H9/02 H01L41/312
法律状态
2022-05-03 ：
授权
2019-02-22 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 41/08
申请日 : 20170117
申请日 : 20170117
2018-09-04 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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