一种混合结构声波器件
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种混合结构声波器件,该声波器件封装结构包括衬底和衬底上方多个体声波谐振器和声表面波谐振器。体声波谐振器位于衬底上方,衬底上方有上层布拉格反射镜和下层布拉格反射镜,两布拉格反射镜中间有压电层和上下电极,形成体声波谐振器;上层布拉格反射镜上方为压电层和声表面波换能器,形成声表面波谐振器。在同一衬底上集成了SMR结构的体声波谐振器和IHP结构的声表面波谐振器,大大提高了集成度;由于SMR和IHP都是叠层结构,工艺制程易于实现;体声波谐振器与声表面波谐振器之间有布拉格反射镜的存在,对两种声波各自进行了声学反射,杜绝了两种谐振器之间的干扰,在实现小型化的同时保证了两谐振器之间的隔离。
基本信息
专利标题 :
一种混合结构声波器件
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114389561A
申请号 :
CN202111574229.2
公开(公告)日 :
2022-04-22
申请日 :
2021-12-21
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
陈云姣王为标陆增天徐彬韦鹏
申请人 :
无锡市好达电子股份有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市经济技术开发区高运路115号
代理机构 :
无锡华源专利商标事务所(普通合伙)
代理人 :
过顾佳
优先权 :
CN202111574229.2
主分类号 :
H03H9/02
IPC分类号 :
H03H9/02
法律状态
2022-05-10 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 9/02
申请日 : 20211221
申请日 : 20211221
2022-04-22 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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