电容式微机械陀螺
专利权的终止
摘要
本发明公开了一种电容式微机械陀螺，用来解决现有技术中不能实现驱动模态与检测模态的解耦问题，其特征在于：两根驱动梳齿梁(28)分别与固定在内锚点(96)上的内驱动弯曲梁(72)和连接在惯性质量平板框架(22)上的内敏感弯曲梁(74)相连；驱动梳齿梁(28)的两侧分别伸出一组驱动梳齿(30)，与驱动施力电极(32)上伸出的驱动检测梳齿(34)交叠构成变面积的驱动施力电容对(36)，与驱动检测电极(40)上伸出的驱动检测梳齿(42)交叠构成变面积的驱动检测电容对(44)；驱动施力电极(32)和驱动检测电极(40)均通过锚点固定在基体上。由于本发明采用了解耦梁结构，可实现陀螺驱动模态与敏感模态之间的解耦。
基本信息
专利标题 ：
电容式微机械陀螺
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1749693A
申请号 ：
CN200510096227.1
公开（公告）日 ：
2006-03-22
申请日 ：
2005-10-24
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
苑伟政常洪龙谢建兵蒋庆华
申请人 ：
西北工业大学
申请人地址 ：
710072陕西省西安市友谊西路127号
代理机构 ：
西北工业大学专利中心
代理人 ：
黄毅新
优先权 ：
CN200510096227.1
主分类号 ：
G01C19/00
IPC分类号 ：
G01C19/00 G01C19/56
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01C
测量距离、水准或者方位；勘测；导航；陀螺仪；摄影测量学或视频测量学
G01C19/00
陀螺仪；使用振动部件的转动敏感装置；不带有运动部件的转动敏感装置；使用陀螺效应测量角速率
法律状态
2014-12-17 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101591754236
IPC(主分类) : G01C 19/00
专利号 : ZL2005100962271
申请日 : 20051024
授权公告日 : 20090422
终止日期 : 20131024
号牌文件序号 : 101591754236
IPC(主分类) : G01C 19/00
专利号 : ZL2005100962271
申请日 : 20051024
授权公告日 : 20090422
终止日期 : 20131024
2009-04-22 ：
授权
2006-05-17 ：
实质审查的生效
2006-03-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN100480629C.PDF
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2、
CN1749693A.PDF
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