一种三轴石英微机械陀螺仪衬底及陀螺仪

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摘要

本实用新型涉及石英陀螺仪技术领域，尤其涉及一种三轴石英微机械陀螺仪衬底及陀螺仪，三轴石英微机械陀螺仪衬底，包括衬底本体，衬底本体包括用于安装电路板的第四安装位，衬底本体上还设有第一安装位、第二安装位以及第三安装位，第一安装位、第二安装位以及第三安装位分别用于安装检测X轴、Y轴以及Z轴的角速度的石英MEMS表芯，具有体积小、质量小、降低误差和装配流程简单的优点。本实用新型还公开一种三轴石英微机械陀螺仪，包括：三个石英MEMS表芯、减振支架、电路软硬结合板、外壳以及本三轴石英微机械陀螺仪衬底，安装方便且减少了导线焊接，提高生产效率，有利于批量生产，可靠性高，具有较强的可扩展性。

基本信息

专利标题：

一种三轴石英微机械陀螺仪衬底及陀螺仪

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920597151.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-04-28

授权号：

CN209745299U

授权日：

2019-12-06

发明人：

汤一张永斌魏景辉王松杰

申请人：

北京晨晶电子有限公司

申请人地址：

北京市朝阳区酒仙桥路2号

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司

代理人：

苗青盛

优先权：

CN201920597151.8

主分类号：

G01C19/5621

IPC分类号：

G01C19/5621 G01C19/5628 G01C21/18