微机械陀螺仪
授权
摘要

本实用新型提供了一种微机械陀螺仪,包括基底、锚点、6个振动结构、面内换能器、以及面外换能器,基底上具有中心点,6个振动结构绕中心点均匀分布,每一振动结构包含N个质量块,微机械陀螺仪还包括设置于相邻两个质量块之间的第一耦合梁,以使多个质量块运动关联。微机械陀螺仪工作在两个振动模态中,两个体振动模态包括工作在第一模态下的驱动模态,以及工作在第二模态下的检测模态,两个振动模态可相互互换。每一振动结构中各质量块的振动模态均相同,在第一模态下,相邻两个所述振动结构的运动方向沿径向相反;在第二模态下,振动结构沿垂直于基底的方向运动。本实用新型的微机械陀螺仪可以提高芯片面积的使用率,从而提高检测灵敏度。

基本信息
专利标题 :
微机械陀螺仪
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202121855691.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-08-09
授权号 :
CN216159892U
授权日 :
2022-04-01
发明人 :
阚枭占瞻杨珊马昭李杨陈秋玉洪燕黎家健
申请人 :
瑞声开泰科技(武汉)有限公司;瑞声声学科技(深圳)有限公司
申请人地址 :
湖北省武汉市光谷三路777号武汉东湖综合保税区A塔楼
代理机构 :
深圳紫藤知识产权代理有限公司
代理人 :
徐世俊
优先权 :
CN202121855691.5
主分类号 :
G01C19/56
IPC分类号 :
G01C19/56  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01C
测量距离、水准或者方位;勘测;导航;陀螺仪;摄影测量学或视频测量学
G01C19/00
陀螺仪;使用振动部件的转动敏感装置;不带有运动部件的转动敏感装置;使用陀螺效应测量角速率
G01C19/56
使用振动部件的转动敏感装置,例如基于科里奥利力的振动角速度传感器
法律状态
2022-04-01 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332