微机械陀螺仪
授权
摘要
本实用新型提供一种微机械陀螺仪，包括：固定基底；锚点结构，设置于固定基底上，且锚点结构与固定基底连接；环振动结构，设置于锚点结构内围或设置于锚点结构外围，环振动结构与锚点结构机械耦合，环振动结构的轮廓为正6M边形，其中，M为不小于2的整数；面内换能器，设置于固定基底上，且面内换能器与固定基底连接，面内换能器用于驱动/检测环振动结构按照面内的3θ模态振动；面外换能器，设置于固定基底上，且面外换能器与固定基底连接，面外换能器用于检测/驱动环振动结构按照面外的第2阶弯曲模态振动。本实用新型提供的微机械陀螺仪可以提高微机械陀螺仪内部检测结构的驱动模态与检测模态的匹配度从而提高微机械陀螺仪的灵敏度和精确度。
基本信息
专利标题 ：
微机械陀螺仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202121852513.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-08-09
授权号 ：
CN216410213U
授权日 ：
2022-04-29
发明人 ：
杨珊占瞻彭宏韬马昭阚枭黎家健洪燕谭秋喻
申请人 ：
瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区高新区南区粤兴三道6号南京大学深圳产学研大楼A座
代理机构 ：
深圳紫藤知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐世俊
优先权 ：
CN202121852513.7
主分类号 ：
G01C19/5684
IPC分类号 ：
G01C19/5684
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01C
测量距离、水准或者方位；勘测；导航；陀螺仪；摄影测量学或视频测量学
G01C19/00
陀螺仪；使用振动部件的转动敏感装置；不带有运动部件的转动敏感装置；使用陀螺效应测量角速率
G01C19/56
使用振动部件的转动敏感装置，例如基于科里奥利力的振动角速度传感器
G01C19/567
利用振动节点或波腹的相位移动
G01C19/5677
本质上的二维振动器，如环形振动器
G01C19/5684
包含微机械结构的设备
法律状态
2022-04-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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