微机械的电容式传感元件
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明描述了一种用于产生微机械的传感元件的制造方法，该传感元件可以以单片可集成的结构形式被产生，并且具有物理量的电容性检测能力。除了所述制造方法，同样描述了一种微机械装置，所述装置包含这种传感元件，如例如压力传感器或者加速度传感器。
基本信息
专利标题 ：
微机械的电容式传感元件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101087999A
申请号 ：
CN200580044292.8
公开（公告）日 ：
2007-12-12
申请日 ：
2005-11-04
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
H·本泽尔S·芬克拜纳F·菲舍尔H·博伊曼L·梅茨格R·朔伊雷尔P·布劳赫勒A·福斯特尔M·诺伊鲍尔
申请人 ：
罗伯特·博世有限公司
申请人地址 ：
德国斯图加特
代理机构 ：
永新专利商标代理有限公司
代理人 ：
曾立
优先权 ：
CN200580044292.8
主分类号 ：
G01L9/00
IPC分类号 ：
G01L9/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L9/00
用电或磁的压敏元件测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力；用电或磁的方法传递或指示机械压敏元件的位移，该机械压敏元件是用来测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力的
法律状态
2009-12-02 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
2008-02-27 ：
实质审查的生效
2007-12-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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