一种二维外形轮廓自扫描投影测量装置
专利权的终止
摘要

本发明公开了一种二维外形轮廓自扫描投影测量装置,它包括依次位于同一光路上的激光器、扩束镜、光缝隙、柱面镜组件、CCD和控制器,光缝隙位于光缝隙直线扫描器上,并由其驱动沿X向运动;光缝隙的长度大于被测的几何形体截面Y向的宽度,其缝宽小于X向的测量分辨率;柱面镜组件由柱面镜、或柱面镜和成像透镜组构成,控制器用于运动控制和测量信号的采集和处理。本发明长方向(X)的最小测量分辨率为20μm、宽方向(Y)的最小测量分辨率为1μm,而且被测对象与测量系统没有相对运动,即没有运动误差。由于运动件的质量很小,其扫描的工作极限频率大于200Hz。本发明具有光路短、简单和光噪声小的特点,且还具有结构简单、制造简便和稳定性好的特点。

基本信息
专利标题 :
一种二维外形轮廓自扫描投影测量装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1746619A
申请号 :
CN200510019587.1
公开(公告)日 :
2006-03-15
申请日 :
2005-10-13
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
张新宝
申请人 :
华中科技大学
申请人地址 :
430074湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
代理机构 :
华中科技大学专利中心
代理人 :
曹葆青
优先权 :
CN200510019587.1
主分类号 :
G01B11/25
IPC分类号 :
G01B11/25  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
G01B11/25
通过在物体上投影一个图形,例如莫尔条纹
法律状态
2011-12-14 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101154309637
IPC(主分类) : G01B 11/25
专利号 : ZL2005100195871
申请日 : 20051013
授权公告日 : 20070404
终止日期 : 20101013
2007-04-04 :
授权
2006-05-10 :
实质审查的生效
2006-03-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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