间隙检测装置
专利权的终止
摘要
本发明的目的在于提供一种即使等离子体的产生状况变化，也能够高精度地检测出喷嘴与工作物之间的间隙的间隙检测装置。设置对通过了中心电极电缆(4)的合成信号的频率(f1)的成分和频率(f2)的成分进行检波的检波部件(8)，根据由该检波部件(8)检波出的频率(f1)的成分和频率(f2)的成分，生成与喷嘴(5)和工作物(6)间的间隙对应的检测信号。由此，即使等离子体的产生状况变化，也能够高精度地检测出喷嘴(5)与工作物(6)之间的间隙。
基本信息
专利标题 ：
间隙检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1877245A
申请号 ：
CN200510022847.0
公开（公告）日 ：
2006-12-13
申请日 ：
2005-12-12
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
岩田高明土谷和之大村浩嘉
申请人 ：
三菱电机株式会社
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 ：
王以平
优先权 ：
CN200510022847.0
主分类号 ：
G01B7/14
IPC分类号 ：
G01B7/14
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B7/00
以采用电或磁的方法为特征的计量设备
G01B7/14
用于计量相隔的物体或孔的间距或间隙
法律状态
2016-01-27 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101644374951
IPC(主分类) : G01B 7/14
专利号 : ZL2005100228470
申请日 : 20051212
授权公告日 : 20080730
终止日期 : 20141212
号牌文件序号 : 101644374951
IPC(主分类) : G01B 7/14
专利号 : ZL2005100228470
申请日 : 20051212
授权公告日 : 20080730
终止日期 : 20141212
2008-07-30 ：
授权
2007-02-14 ：
实质审查的生效
2006-12-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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