间隙检测及修正装置

专利权的终止

摘要

本实用新型公开了一种间隙检测及修正装置，该装置包含支撑座、检测单元、升降单元、光罩座及调距单元；所述的支撑座用以承载板材；所述的检测单元检测所述的板材的中心部位及数个角对支撑座的相对高度；所述的升降单元根据检测单元的检测结果调整支撑座的高度；所述的光罩座用以承载光罩；所述的调距单元根据检测单元的检测结果调整光罩座的数个角对板材的相对高度，因此，可确保光罩及板材之间具有相等及固定的距离，进而相对提升后续曝光品质。

基本信息

专利标题：

间隙检测及修正装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200620158320.0

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2006-11-13

授权号：

CN201017173Y

授权日：

2008-02-06

发明人：

周进德

申请人：

顶瑞机械股份有限公司

申请人地址：

中国台湾高雄县凤山市镇北里北巷21之11号

代理机构：

北京汇智英财专利代理事务所

代理人：

刘祖芬

优先权：

CN200620158320.0

主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G03F7/20 H01L21/027