微型硅基自吸氧式燃料电池极板及其制作方法
专利权的终止
摘要
微型硅基自吸氧式燃料电池极板及其制作方法，属于微能源和微机械加工领域。为解决现有体硅腐蚀技术同膜电极接触面积过小，接触不充分等问题，本发明提出了一种微型硅基自吸氧式燃料电池极板，包括自吸氧式阴极极板和阳极极板，所述自吸氧式阴极极板与膜电极一侧的接触面积超出其与空气一侧的接触面积。为解决现有技术成本过高、无法批量生产自吸氧式燃料电池极板的问题，本发明还公开了微型硅基自吸氧式燃料电池极板的制作方法，包括生成体硅腐蚀掩蔽层的步骤，采用双面光刻技术光刻极板两面图形的步骤，在70～80℃及超声搅拌条件下，30～40wt％的KOH溶液中进行体硅腐蚀的步骤，以及溅射电流收集层的步骤。
基本信息
专利标题 ：
微型硅基自吸氧式燃料电池极板及其制作方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1753220A
申请号 ：
CN200510086751.0
公开（公告）日 ：
2006-03-29
申请日 ：
2005-11-01
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
王晓红姜英琪钟凌燕
申请人 ：
清华大学
申请人地址 ：
100084北京市北京100084－82信箱
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN200510086751.0
主分类号 ：
H01M4/86
IPC分类号 ：
H01M4/86 H01M4/88 H01M8/02
法律状态
2016-12-21 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101692975044
IPC(主分类) : H01M 4/86
专利号 : ZL2005100867510
申请日 : 20051101
授权公告日 : 20080618
终止日期 : 20151101
号牌文件序号 : 101692975044
IPC(主分类) : H01M 4/86
专利号 : ZL2005100867510
申请日 : 20051101
授权公告日 : 20080618
终止日期 : 20151101
2008-06-18 ：
授权
2006-05-24 ：
实质审查的生效
2006-03-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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