本发明公开了一种硅基雾化芯及其制作方法，该硅基雾化芯包括分别从第一表面和第二表面延伸形成的互相贯通的一个或多个第一孔道和一个或多个第二孔道，一个第二孔道与至少一个第一孔道的位置相对应，第一孔道的孔径小于第二孔道的孔径，并且在第二孔道的表面上设有与最靠近该第二孔道的第一孔道的表面连接的至少一个台阶结构，第一表面、第二表面、第一孔道和第二孔道的表面上设有钝化层，第一表面与第一孔道的表面的钝化层上设有加热层。因此相比于陶瓷基或玻璃基雾化芯，本申请的硅基雾化芯具有更好的雾化效果，更高的可靠性以及更低的成本。