本发明涉及氧化锌纳米晶体的制备方法和装置，其装置包括O₂流量计、Ar流量计、反应炉、辅助加热炉以及设置在其内部的导光装置、工作台、金属锌板、非电离辐射、基底、基座和真空泵。本发明的制备方法是利用连续激光、红外线等非电离辐射的热效应将金属锌板加热到金属锌的汽化温度以上，使金属锌板表面产生高温等离子体，该等离子体定向局部膨胀与反应炉中的氧气发生反应，可以生长多种特定形貌和性质完全一致的纳米氧化锌晶体。具体的氧化锌纳米晶体的形貌和性质由非电离辐射的参数、照射时间、氧气浓度以及通过移动和旋转工作台控制金属锌板和非电离辐射线焦点的相对位置决定。其可以生成与传统的方法不能合成的氧化锌纳米晶体。