衍射光变图像的高速激光直写方法和系统
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要

本发明公开了一种衍射光变图像的高速激光直写方法,入射平行光经光阑、透镜成像到分束元件上,分束光分别经透镜组会聚,产生干涉条纹光场,依次光刻不同取向的干涉条纹形成不同取向的微光栅图像,其特征在于:由采用半导体泵浦的固态紫外激光器生成所述激光束,利用TTL信号控制,实现激光束的脉冲输出,两组分束光束具有零光程差;光学系统和光刻胶干板分别在相互垂直的两个一维方向上运动,采用连续运动、连续脉冲曝光方式进行光刻。本发明并以此实现了高速激光直写光刻系统,使大面积具有微米级条纹结构的衍射光变图像的原版制作缩短到数小时到17小时之间,真正进入工业化应用阶段,是激光全息技术领域数字化先进制造技术的重要突破。

基本信息
专利标题 :
衍射光变图像的高速激光直写方法和系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1786748A
申请号 :
CN200510095775.2
公开(公告)日 :
2006-06-14
申请日 :
2005-11-17
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
陈林森解剑锋沈雁魏国军邵洁周小红吴建宏毛立华汪振华
申请人 :
苏州大学;苏州苏大维格数码光学有限公司
申请人地址 :
215006江苏省苏州市沧浪区十梓街1号
代理机构 :
苏州创元专利商标事务所有限公司
代理人 :
陶海锋
优先权 :
CN200510095775.2
主分类号 :
G02B5/18
IPC分类号 :
G02B5/18  G02F1/35  G02B27/00  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B5/00
除透镜外的光学元件
G02B5/18
衍射光栅
法律状态
2020-09-08 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : G02B 5/18
变更事项 : 专利权人
变更前 : 苏州大学
变更后 : 苏州大学
变更事项 : 地址
变更前 : 215006 江苏省苏州市沧浪区十梓街1号
变更后 : 215006 江苏省苏州市沧浪区十梓街1号
变更事项 : 共同专利权人
变更前 : 苏州苏大维格光电科技股份有限公司
变更后 : 苏州苏大维格科技集团股份有限公司
2009-08-12 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
变更事项 : 专利权人
变更前 : 苏州苏大维格光电科技股份有限公司
变更后 : 苏州苏大维格光电科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 江苏省苏州市工业园区机场路328号国际科技园 邮编 : 215021
变更后 : 江苏省苏州市苏州工业园区苏虹东路北钟南街478号 邮编 : 215026
2009-06-10 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
变更事项 : 共同专利权人
变更前权利人 : 苏州苏大维格数码光学有限公司
变更后权利人 : 苏州苏大维格光电科技股份有限公司
变更后权利人 : 苏州大学
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 江苏省苏州市沧浪区十梓街1号 邮编 : 215006
变更后权利人 : 江苏省苏州市沧浪区十梓街1号 邮编 : 215006
变更前权利人 : 苏州大学
变更事项 : 专利权人
2008-02-27 :
授权
2006-08-09 :
实质审查的生效
2006-06-14 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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