激光束加工机
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摘要
一种激光束加工机，其包括用于保持工件的卡盘工作台、用于向保持在该卡盘工作台上的工件施加脉冲激光束的激光束施加装置、以及用于使该卡盘工作台和该激光束施加装置进行彼此相对的加工进给的加工进给装置，其中，该激光加工机还包括用于检测该卡盘工作台的加工进给量的进给量检测装置和用于根据来自该进给量检测装置的检测信号控制该激光束施加装置的控制装置，该控制装置根据来自该进给量检测装置的信号向该激光束施加装置输出用于每个预定加工进给量的施加信号。
基本信息
专利标题 ：
激光束加工机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1785578A
申请号 ：
CN200510128867.6
公开（公告）日 ：
2006-06-14
申请日 ：
2005-12-07
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
重松孝一三浦诚治
申请人 ：
株式会社迪斯科
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
永新专利商标代理有限公司
代理人 ：
王永建
优先权 ：
CN200510128867.6
主分类号 ：
B23K26/42
IPC分类号 ：
B23K26/42 B23K26/08 B28D5/00 H01L21/78 H01L21/304 H01L21/301
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法律状态
2009-06-17 ：
授权
2007-12-12 ：
实质审查的生效
2006-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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2、
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