激光加工装置和激光束的观察方法
公开
摘要
本发明提供激光加工装置和激光束的观察方法，能够抑制光学部件的污染，并且能够容易地进行调整。激光加工装置包含：激光振荡器，其振荡出激光；第一聚光器，其对从激光振荡器射出的激光束进行会聚而照射至卡盘工作台所保持的被加工物；以及观察单元，其模拟地观察照射至被加工物的激光束的聚光点的状态。观察单元包含：第二聚光器，其在与卡盘工作台的保持面不同的方向上对激光束进行会聚；显微镜，其将通过第二聚光器而会聚的激光束放大；以及拍摄元件，其对显微镜所放大的激光束的聚光点进行观察。
基本信息
专利标题 ：
激光加工装置和激光束的观察方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114453728A
申请号 ：
CN202111220323.8
公开（公告）日 ：
2022-05-10
申请日 ：
2021-10-20
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
九鬼润一
申请人 ：
株式会社迪思科
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 ：
杨俊波
优先权 ：
CN202111220323.8
主分类号 ：
B23K26/00
IPC分类号 ：
B23K26/00 B23K101/40
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B23
机床；其他类目中不包括的金属加工
B23K
钎焊或脱焊；焊接；用钎焊或焊接方法包覆或镀敷；局部加热切割，如火焰切割；用激光束加工
B23K26/00
用激光束加工，例如焊接、切割、或打孔
法律状态
2022-05-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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