一种微机电系统装置由单个多层晶片制成，这减轻了与使用以前技术的两片设计相关的对准问题。在一个实施例中，微机电系统装置有一固定部件和一旋转连接固定部件的可移动部件。该固定部件有电极和与电极电绝缘的第一传导结构。该可移动部件有旋转板和位于板上并与板电连接的第二传导结构。第二传导结构的质量和位置的选择可以补偿板相对于旋转轴的不稳定性。此外，在静止位置，第一和第二传导结构围绕电极形成基本连续的、适于为电极提供电屏蔽的栅栏。可移动部件适于相对于固定部件旋转以响应施加于第二传导结构和电极之间的电压，这样可移动部件就无法在旋转过程中与电极进行物理接触，这减轻了许多使用以前技术的装置固有的突然损坏问题。