电极隔离壁
专利权的终止
摘要

一种电极隔离壁,是在一已形成条状第一电极的基板上,形成与该第一电极垂直的电极隔离壁结构,其利用一般正型光阻材料,先以斜向曝光,再以垂直曝光的两次曝光方式显影形成该电极隔离壁。该电极隔离壁将形成一与该下底面垂直的第一侧面及一第二侧面与该基板表面形成一锐角夹角,从而形成一侧面外悬凸出的结构,这样,当后续第二电极镀膜上去时,因该上底面一侧边外悬凸出,可隔断第二电极的金属成膜于两个电极隔离壁之间,从而达到电极分隔的目的。

基本信息
专利标题 :
电极隔离壁
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1945872A
申请号 :
CN200510108176.X
公开(公告)日 :
2007-04-11
申请日 :
2005-10-09
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
郭建忠周孚正周怡伶蔡宛真游明璋
申请人 :
胜华科技股份有限公司
申请人地址 :
中国台湾台中县
代理机构 :
北京康信知识产权代理有限责任公司
代理人 :
彭焱
优先权 :
CN200510108176.X
主分类号 :
H01L51/52
IPC分类号 :
H01L51/52  H01L27/32  
法律状态
2015-11-25 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101635081684
IPC(主分类) : H01L 51/52
专利号 : ZL200510108176X
申请日 : 20051009
授权公告日 : 20090408
终止日期 : 20141009
2009-04-08 :
授权
2007-06-06 :
实质审查的生效
2007-04-11 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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