本发明提供了一种形成化学机械抛光垫的方法，该方法包括：提供一种装有聚合材料的容器；提供一种装有微球体的储料斗，所述微球体具有初始体积密度，其中储料斗还包括安装在增压室上面的多孔膜；本发明还提供了以下步骤：通过进气管道将流态化气源与所述增压室相连，向增压室内通入气体，使微球体流态化，减小初始体积密度。另外本发明还提供了以下步骤：提供用于将所述聚合材料和微球体输送到混合器的输送系统，形成聚合材料与微球体的混合物，将该混合物注入模子内形成模制产品，将模制产品切割成抛光垫。