电子源、以及包括这种电子源的带电粒子设备
授权
摘要

本发明提供适于用在带电粒子设备中的电子源,在该电子源中,可从受到电势、热激励和光子激励中的至少一个的电极提取电子束,由此至少部分电极包括量化为分立能级的传导带的半导体材料。这种电子源具有相对低的能量扩展度,通常比冷场致发射枪(CFEG)的能量扩展度小得多。所述半导体材料可例如包括半导体毫微线。用于这种毫微线的适当半导体材料的实例包括InAs和GaInAs。

基本信息
专利标题 :
电子源、以及包括这种电子源的带电粒子设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1808683A
申请号 :
CN200510108934.8
公开(公告)日 :
2006-07-26
申请日 :
2005-09-23
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
N·德荣格E·P·A·M·巴克斯L·F·菲纳A·M·卡沃萨
申请人 :
FEI公司;皇家飞利浦电子股份有限公司
申请人地址 :
美国俄勒冈州
代理机构 :
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 :
杨凯
优先权 :
CN200510108934.8
主分类号 :
H01J37/06
IPC分类号 :
H01J37/06  H01J37/26  H01J9/02  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管,例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/04
电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置,如电子光学装置,离子光学装置
H01J37/06
电子源;电子枪
法律状态
2015-01-14 :
授权
2009-09-23 :
专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移)
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : FEI公司
变更后权利人 : FEI公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 美国俄勒冈州
变更后权利人 : 美国俄勒冈州
登记生效日 : 20090828
变更事项 : 共同申请人
变更前权利人 : 皇家飞利浦电子股份有限公司
变更后权利人 : 无
2007-12-05 :
实质审查的生效
2006-07-26 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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