带电粒子束布置及扫描电子装置
避免重复授权放弃专利权
摘要
公开了一种带电粒子束布置及扫描电子装置。所述带电粒子束布置包括：带电粒子源，所述带电粒子源包括冷场发射器；限束孔，所述限束孔在所述带电粒子源与磁性聚光透镜之间；所述磁性聚光透镜，所述磁性聚光透镜包括第一内极件和第一外极件，其中所述带电粒子源与所述第一内极件之间的第一轴向距离等于或小于约20mm；加速部段，所述加速部段用于使带电粒子束加速到10keV或更多的能量，磁性物镜，所述磁性物镜包括第二内极件和第二外极件，所述第二内极件与样本的表面之间的第三轴向距离等于或小于约20mm；以及减速部段。
基本信息
专利标题 ：
带电粒子束布置及扫描电子装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921079893.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-11
授权号 ：
CN210429729U
授权日 ：
2020-04-28
发明人 ：
帕维尔·阿达梅克
申请人 ：
ICT集成电路测试股份有限公司
申请人地址 ：
德国巴伐利亚州
代理机构 ：
北京律诚同业知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐金国
优先权 ：
CN201921079893.8
主分类号 ：
H01J37/28
IPC分类号 ：
H01J37/28 H01J37/141 H01J37/04
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/26
电子或离子显微镜；电子或离子衍射管
H01J37/28
带有扫描射束的
法律状态
2021-02-26 ：
避免重复授权放弃专利权
避免重复授予专利权IPC(主分类) : H01J 37/28
申请日 : 20190711
授权公告日 : 20200428
放弃生效日 : 20210226
申请日 : 20190711
授权公告日 : 20200428
放弃生效日 : 20210226
2020-04-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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