带电粒子束系统和方法
授权
摘要
本发明涉及一种带电粒子束系统，该带电粒子束系统包括：带电粒子源，该带电粒子源被配置用于生成第一带电粒子束；多束生成器，该多束生成器被配置用于从进入的第一带电粒子束生成多个带电粒子小束，其中，该多个带电粒子小束中的每个单独小束与该多个带电粒子小束中的其他小束在空间上分离开；物镜，该物镜被配置用于以如下方式将进入的带电粒子小束聚焦在第一平面中：该多个带电粒子小束中的第一单独小束撞击在该第一平面中的第一区域与该多个带电粒子小束中的第二单独小束撞击在该第一平面中的第二区域在空间上分离开；投射系统以及包括多个单独检测器的检测器系统，其中，该投射系统被配置用于将由于撞击的带电粒子而离开该第一平面内的第一区域的交互产物成像到该多个单独检测器中的第一检测器上，并且将由于撞击的带电粒子而离开
基本信息
专利标题 ：
带电粒子束系统和方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110313047A
申请号 ：
CN201880012469.3
公开（公告）日 ：
2019-10-08
申请日 ：
2018-03-15
授权号 ：
CN110313047B
授权日 ：
2022-05-17
发明人 ：
C.里德塞尔D.蔡德勒
申请人 ：
卡尔蔡司显微镜有限责任公司
申请人地址 ：
德国耶拿
代理机构 ：
北京市柳沈律师事务所
代理人 ：
王蕊瑞
优先权 ：
CN201880012469.3
主分类号 ：
H01J37/28
IPC分类号 ：
H01J37/28 H01J37/244 H01J37/147 H01J37/09 H01J37/10
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/26
电子或离子显微镜；电子或离子衍射管
H01J37/28
带有扫描射束的
法律状态
2022-05-17 ：
授权
2020-03-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/28
申请日 : 20180315
申请日 : 20180315
2019-10-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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